{"product_id":"ieej-ect14088","title":"(K,Na)NbO3-CaTiO3圧電薄膜の作製","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eECT14088\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/11\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ePreparation of (K,Na)NbO3-CaTiO3 piezoelectric film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e池内 伸介(村田製作所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShinsuke Ikeuchi(Murata Manufacturing Co., Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e圧電|薄膜|非鉛|piezo|film|lead-free\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003ePb(Zr,Ti)O3（PZT）薄膜は、圧電定数が高くMEMSアクチュエータデバイスへの応用が期待されるが、有害な鉛を含んでいる。一方、(K,Na)NbO3（KNN）薄膜は非鉛であるが、PZT薄膜に対し圧電定数が低い。そこで本研究では、CaTiO3を添加したKNN（KNN-CT）薄膜を検討し、結果としてPZT薄膜並みの圧電定数を示すKNN-CT薄膜を実現した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003ePb(Zr,Ti)O3 (PZT) films are expected to apply for MEMS actuator devices because of their excellent piezoelectric coefficient but contain harmful Pb. On the other hand, (K,Na)NbO3 (KNN) films are Pb-free but have lower piezoelectric coefficient than PZT films. In this study, we achieved CaTiO3-added KNN (KNN-CT) films which exhibit good piezoelectric constant equivalent to PZT films.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e665 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46362842857711,"sku":"IEEJ-ECT14088-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c7947986-d2a7-4d53-8287-7cf3f0f12d3d.png?v=1743641170","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ect14088","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}