{"product_id":"ieej-ed05068","title":"CH4 プラズマ支援化学気相堆積によるカーボンナノチューブ生成とプラズマ解析 ~実験と計算機解析による炭素量の比較~","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED05068\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/08\/04\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCarbon Nanotube Growth by CH4  Plasma and Its Analysis\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e沖田 篤士(北海道大学),須田 善行(北海道大学),尾関 充史(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学),酒井 洋輔(北海道大学),小田昭紀 (名古屋工業大学),中村 潤児(筑波大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAtsushi Okita(Hokkaido University),Yoshiyuki Suda(Hokkaido University),Atsushi Ozeki(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University),Yosuke Sakai(Hokkaido University),AkinoriOda (Nagoya Institute of Technology),Junji Nakamura(Tsukuba University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eカーボンナノチューブ(CNT)|プラズマ支援化学気相堆積(PECVD)|1次元流体モデル|メタン\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,406 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46361663340783,"sku":"IEEJ-ED05068-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bcb8404e-826e-449a-b1cb-9f80fb66f77e.png?v=1743610524","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed05068","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}