{"product_id":"ieej-ed06090","title":"シャンティングアークを用いた複合プラズマにおける分光特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED06090\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/11\/10\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe spectrum characteristics of a hybrid plasma process containing shunting arc discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e今井 貴文(同志社大学),行村 建(同志社大学),高木 浩一(岩手大学),池畑 隆(茨城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakafumi Imai(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Koichi Takagi(Iwate university),Takashi Ikehata(Ibaragi university)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eシャンティングアーク放電|アモルファスカーボン薄膜|プラスバイアス|\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e921 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46361796083951,"sku":"IEEJ-ED06090-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_110b44f5-98c7-4878-a4dd-97f7605be2da.png?v=1743614204","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed06090","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}