{"product_id":"ieej-ed07084","title":"大気圧下で生成された容量性結合型反応性ガス高周波放電の特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED07084\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/05\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProperties of atmospheric pressure capacitive RF discharges containing reactive gases\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e木村 高志(名古屋工業大学),棚橋 裕基(名古屋工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakashi Kimura(Nagoya Institute of Technology),Hiroki Tanahashi(Nagoya Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e大気圧放電|容量性高周波放電|フッ素化合物|ヘリウム希釈|酸素添加|Atmospheric pressure discharge|capacitive RF discharge|fluoride compound|He dilution|O2 addition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e405 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46361983451375,"sku":"IEEJ-ED07084-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f0790fcf-3f15-4e45-aac3-c1925b64acd6.png?v=1743616993","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed07084","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}