{"product_id":"ieej-ed07133","title":"ハイパワーパルススパッタグロー放電(HPPS)の電圧、電流特性および発光スペクトル","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED07133\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/09\/13\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eVoltage and current characteristics and emission spectra of high power pulsed sputtering (HPPS) discharge\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e三枝亮介 (同志社大学),行村 建(同志社大学),玉垣 浩(神戸製鋼所),沖本 忠雄(神戸製鋼所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRyosuke Mieda(Doshisha University),Ken Yukimura(Doshisha University),Hiroshi Tamagaki(KOBE STEEL,LTD.),Tadao Okimoto(KOBE STEEL,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eパルス放電プラズマ|グロー放電|ペニング放電|スパッタ|発光スペクトル|Pulse discharge plasma|Glow discharge|Penning discharge|Sputter|Emission spectra\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e409 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46361995018479,"sku":"IEEJ-ED07133-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_61ef3b64-2f2b-4414-8b95-fd0b551cd473.png?v=1743617209","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed07133","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}