{"product_id":"ieej-ed08042","title":"真空紫外分光法による窒素系誘導結合プラズマの診断","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED08042\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/10\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDiagnostics of Inductively Coupled Plasma through Pure and Ar-Diluted Nitrogen by Vacuum Ultraviolet Spectroscopy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e中野 俊樹(防衛大学校),白井 博之(防衛大学校),北嶋 武(防衛大学校)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eToshiki Nakano(National Defense Academy),Hiroyuki Shirai(National Defense Academy),Takeshi Kitajima(National Defense Academy)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e窒素原子|誘導結合プラズマ|解離|真空紫外吸収分光法|準安定原子|nitrogen atom|inductively coupled plasma|dissociation|vacuum ultraviolet absorption spectroscopy|metastables\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e503 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46362109018351,"sku":"IEEJ-ED08042-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_0a55b5a0-bc16-4236-8f2d-3bc87d865ff5.png?v=1743620462","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed08042","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}