{"product_id":"ieej-ed09032","title":"放電プラズマEUV光源における放電後の滞留ガスの観測","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED09032\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/05\/28\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eBreakdown characteristics of post discharge phase in discharge produced plasma EUV light source\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e安井 大貴(熊本大学),山本 達也(熊本大学),佐久川貴志 (熊本大学),勝木淳 (熊本大学),秋山 秀典(熊本大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTaiki Yasui(Kumamoto University),Tatsuya Yamamoto(Kumamoto University),Sunao Katsuki(Kumamoto University),Takashi Sakugawa(Kumamoto University),Hidenori Akiyama(Kumamoto University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eレーザーアシスト放電|極端紫外線光源|高繰り返し運転|絶縁回復|レーザー誘起蛍光法|Laser ablation|Laser-assist discharge|extreme ultraviolet light source|driving high repetition rate|breakdown characteristics\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e678 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46362312605935,"sku":"IEEJ-ED09032-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d9f41aee-5664-4b55-8fa1-4b9f01530488.png?v=1743624280","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed09032","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}