{"product_id":"ieej-ed10028","title":"放電励起カリウムプラズマを用いる小型極端紫外光源の放射特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED10028\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/05\/14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProperties of a XUV source using discharge-excited pottasium plasma\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e寺内 宏満(宇都宮大学大学院),菊地 啓介(宇都宮大学大学院),東口 武史(宇都宮大学),湯上 登(宇都宮大学),谷田貝 豊彦(宇都宮大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHiromitsu Terauchi(Utsunomiya University),Keisuke Kikuchi(Utsunomiya university),Takeshi Higashiguchi(Utsunomiya university),Noboru Yugami(Utsunomiya university),Toyohiko Yatagai(Utsunomiya university)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外光|放電励起プラズマ|キャピラリー|ホローカソード|カリウム|extreme ultraviolet|discharge-excited plasma|capillary|hollow cathode|pottasium\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eカリウムを塗布したキャピラリー電極間に高電圧パルス (最大放電電圧: 30 kV，最大放電電流: 200 A) を印加することで生成されたカリウムプラズマから，波長40 nm 近傍にバンド幅 8 nmの広帯域な発光が観測された．電子温度および発光エネルギーの放射角度分布より，ホローカソード放電の可能性が示唆され，高温かつ高密度のプラズマが生成されていると考えられる．発表では，小型かつ高効率な極端紫外光源の放射特性について報告する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e731 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46362506199279,"sku":"IEEJ-ED10028-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_ab505375-ba72-4c97-9a67-37e7ba8ed901.png?v=1743629062","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed10028","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}