{"product_id":"ieej-ed10116","title":"CF4\/希ガス混合気体を用いた大気圧誘電体バリア放電の発光分光特性","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED10116\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/10\/22\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eOptical emission spectroscopy of atmospheric pressure dielectric barrier discharges in CF4\/noble gas mixtures\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e井出 存(首都大学東京),出原 慎(首都大学東京),白井 直機(首都大学東京),内田 諭(首都大学東京),杤久保 文嘉(首都大学東京)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eIde Tamotsu(Tokyo Metropolitan University),Idehara Makoto(Tokyo Metropolitan University),Shirai Naoki(Tokyo Metropolitan University),Uchida Satoshi(Tokyo Metropolitan University),Tochikubo Fumiyoshi(Tokyo Metropolitan University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e誘電体バリア放電|非熱平衡大気圧プラズマ|ＣＦ４分解|発光分光|dielectric barrier discharge|atmospheric pressure nonthermal plasma|CF4 decomposition|optical emission spectroscopy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eAr\/CF4混合ガスを用いて非熱平衡大気圧プラズマを生成したとき，250-300nmと500-700nmに連続スペクトルが観測される。前者はCF2からの発光であり，後者はCF4分解に伴う発光と考えられる。即ち，発光特性はCF4分解特性を強く反映する。本研究では，誘電体バリア放電によって希ガス\/CF4混合ガスのプラズマを生成し，このときの発光分光特性を計測することで，プラズマ上流部から下流部へ至る放電特性の詳細を調査した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eAtmospheric pressure nonthermal plasma in Ar\/CF4 mixtures radiates continuous spectra which originate from CF4 decomposition. Therefore, the optical emission spectroscopy is effective method to observe the plasma-assisted CF4 decomposition process. In this work, we have investigated the dielectric barrier discharges in CF4\/noble gas mixtures by space-resolved optical emission spectroscopy.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e6,920 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362518159599,"sku":"IEEJ-ED10116-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_c825bb51-093d-40cd-9016-bc8b989b1c71.png?v=1743629253","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed10116","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}