{"product_id":"ieej-ed16174","title":"軸外し傾斜基板を用いたAl添加ZnOのRFマグネトロンスパッタ成膜","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED16174\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/10\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eRF magnetron sputtering of the Al-doped ZnO using off-axis inclined substrate\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e坂本 康平(長崎大学),佐藤 貴紀(長崎大学),小山田 俊介(長崎大学),松尾 直樹(長崎大学),篠原 正典(長崎大学),松田 良信(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKohei Sakamoto(Nagasaki Univ.),Takaki Sato(Nagasaki Univ.),Shunsuke Oyamada(Nagasaki Univ.),Naoki Matsuo(Nagasaki Univ.),Masanori Shinohara(Nagasaki Univ.),Yoshinobu Matsuda(Nagasaki Univ.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e透明導電膜|Ａｌ添加ＺｎＯ|ＲＦマグネトロンスパッタリング|軸外し|抵抗率|ホール効果測定|transparent conductive film|Al-doped ZnO|RF magntron sputtering|Off-axis deposition|resistivity|Hall effect measurement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e10-4Ωcm台の抵抗率を有するAl添加ZnO膜を基板全体に均一に成膜することを研究目的として、RFマグネトロンスパッタリングによるAl添加ZnOの成膜実験を行った。通常の対向設置基板配置では、高エネルギー粒子がターゲット浸食領域対向部に入射する影響により、抵抗率が不均一分布する。そこで、ガラス基板、プラスチック基板をターゲット中心軸から外して45°に傾斜させて成膜したところ、均一な成膜特性が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eTo deposit Al-doped ZnO films with resistivity less than 10-3 Ωcm uniformly on a full substrate, RF magnetron sputtering was investigated. Glass or plastics (PET, PEN) substrates were placed parallel, and tilt up to 45 degrees to a target surface. Off-axis deposition with inclined substrates was effective for improving film quality and spatial uniformity in deposition rate, resistivity, and crystallinity. AZO films with resistivity less than 10-3 Ωcm were successfully deposited on off-axis inclined plastics substrates without substrate heating.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,350 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46362900529391,"sku":"IEEJ-ED16174-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_31861b0a-4f2a-4352-a64d-3409a4c46c54.png?v=1743643779","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed16174","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}