{"product_id":"ieej-ed16175","title":"Nd-Fe-B\/Taスパッタ膜の磁気特性評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED16175\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/10\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eEvaluation of magnetic properties of Nd-Fe-B\/Ta sputtered films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小玉 康太(長崎大学),日巻 智裕(長崎大学),篠原 正典(長崎大学),松田 良信(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKouta Kodama(Nagasaki univ.),Tomohiro Himaki(Nagasaki univ.),Masanori Shinohara(Nagasaki univ.),Yoshinobu Matsuda(Nagasaki univ.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e磁性薄膜|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ|ＲＦマグネトロンスパッタリング|成膜|二層膜|熱減磁|magnetic thin film|Nd-Fe-B|RF magnetron sputtering |deposition|bilayer film|thermal demagnetization\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eRFマグネトロンスパッタリングでTa基板上にNd-Fe-B膜を形成した後、DCスパッタリングでTa保護膜を形成し、その2層膜の磁気特性を調査した。Nd-Fe-Bが膜厚600nmで、Ta膜厚が20または40nmのときに、80kJ\/m^3を超える(BH)maxと960kA\/m程度の保磁力を有する硬磁気特性が得られた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe have prepared a Ta film by DC sputtering after forming the Nd-Fe-B film by RF magnetron sputtering on the Ta substrate, and investigated its magnetic properties of the bilayer thin film.Hard magnetic properties with a (BH)max more than 80kJ\/m^3 and coercivity more than 960kA\/m were obtained for the films with Nd-Fe-B thickness of 600nm and Ta thickness of 20 or 40nm in Nd-Fe-B film thickness.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e2,107 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362900594927,"sku":"IEEJ-ED16175-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_593088c5-9a14-468b-b070-8a3cb6cd62a1.png?v=1743643782","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed16175","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}