{"product_id":"ieej-ed16195","title":"新型プラズマプロセス用小型酸素負イオンビーム源の開発Ⅱ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED16195\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2016\/10\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of small negative oxygen ion source for an innovative plasma processing II\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e森本 貴大(京都工芸繊維大学),比村 治彦(京都工芸繊維大学),平野 達弥(京都工芸繊維大学),児玉 宜優(京都工芸繊維大学),岡田 成文(大阪大学),政宗 貞男(京都工芸繊維大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakahiro Morimoto(Kyoto Institute of Technology),Haruhiko Himura(Kyoto Institute of Technology),Tatsuya Hirano(Kyoto Institute of Technology),Norihiro Kodama(Kyoto Institute of Technology),Shigefumi Okada(Osaka University),Sadao Masamune(Kyoto Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eプラズマプロセス|負イオン源|誘導結合プラズマ|酸素負イオン|負イオンビーム|静電レンズ|plasma process|negative ion source|inductive coupled plasma|oxygen negative ion|negative ion beam|electrostatic lens\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は、低温かつ低不純物プロセス開発に用いる酸素負イオン源の開発を進めている。この負イオン源は、真空容器外にアンテナを配置するICP方式を採用しており、解離性電子付着過程を通じた体積生成法のみで酸素負イオンの生成を行う。引き出された酸素負イオンビームは、静電レンズ系により集束される。本発表では、この酸素負イオンビーム源開発の続きを報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe are developing a small negative oxygen ion source applied to an innovative plasma process which could run under conditions of low temperature and little impurity. The negative oxygen ion plasma is produced by an ICP technique. In this workshop, we present the recent progress of the negative oxygen ion source.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,321 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46362902986991,"sku":"IEEJ-ED16195-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_14dc10c2-22ea-404a-b382-d46dd98fe3ba.png?v=1743643879","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed16195","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}