{"product_id":"ieej-ed17102","title":"表面波プラズマCVDを用いた窒化ホウ素膜の合成と物性評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eED17102\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 放電研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/10\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSynthesis of Boron Nitride Films by Surface-Wave Plasma-Enhanced CVD and Characterization of Their Physical Properties\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e神村 勇馬(九州大学),鳥越 雅敬(九州大学),石田 学(九州大学),高橋 里奈(九州大学),堤井 君元(九州大学),松本 精一郎(九州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYuma Kamimura(Kyushu University),Masataka Torigoe(Kyushu University),Manabu Ishida(Kyushu University),Rina Takahashi(Kyushu University),Kungen Teii(Kyushu University),Seiichiro Matsumoto(Kyushu University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eマイクロ波プラズマ|窒化ホウ素|イオン衝撃|誘電体|パワーデバイス|Microwave plasma|Boron nitirde|Ion bombardment|Dielectric|Power device\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e2.45GHzマイクロ波で動作する表面波プラズマを用い、高イオンフラックス条件下で、イオン照射エネルギーまたは基板温度を変化させて高密度な窒化ホウ素膜を蒸着した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eA surface-wave plasma operated at 2.45 GHz microwave was used to deposit dense hexagonal boron nitride films by varying either the ion energy or substrate temperature under a high ion flux condition.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e505 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46362952892655,"sku":"IEEJ-ED17102-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_82c55cec-1b29-40d5-b2c2-3a80f5633f59.png?v=1743646531","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ed17102","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}