{"product_id":"ieej-edd05057","title":"深いトレンチエッチングとエピタキシャル成長により作製した耐圧500V以上のSJ-MOSFET","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD05057\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/10\/28\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAbove 500V class Superjunction MOSFETs fabricated by deep trench etching and epitaxial growth\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e高橋 孝太(富士電機アドバンストテクノロジー),岩本 進(富士電機アドバンストテクノロジー),栗林 均(富士電機アドバンストテクノロジー),脇本 節子(富士電機アドバンストテクノロジー),望月邦雄 (富士電機アドバンストテクノロジー),中澤 治雄(富士電機アドバンストテクノロジー)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eK. Takahashi(Fuji Electric Advanced Technorogy Co.,Ltd.),S. Iwamoto(Fuji Electric Advanced Technorogy Co.,Ltd.),H. Kuribayashi(Fuji Electric Advanced Technorogy Co.,Ltd.),S. Wakimoto(Fuji Electric Advanced Technorogy Co.,Ltd.),K. Mochizuki(Fuji Electric Advanced Technorogy Co.,Ltd.),H. Nakazawa(Fuji Electric Advanced Technorogy Co.,Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e超接合|トレンチ|埋込|トレードオフ|シリコンリミット|Super Junction|SJ|trench|filling|trade-off|Si-Limit\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e804 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46361644761327,"sku":"IEEJ-EDD05057-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_38688aea-c12f-4c21-9453-db0a3289c2ba.png?v=1743609385","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd05057","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}