{"product_id":"ieej-edd08043","title":"ダマシンゲートプロセスを用いたTop-Cut デュアルストレスライナーを有する高性能Metal\/High-k Gate MOSFETs","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD08043\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/03\/06\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh-Performance Metal\/High-k Gate Stack n- and p-MOSFETs with Top-Cut Dual Stress Liners by Damascene Gate Process on (100) Substrates\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e黛哲(ソニー),王俊利(ソニー),山川真弥(ソニー),舘下八州志(ソニー),平野智之(ソニー),中田征志(ソニー),山口晋平(ソニー),山本雄一(ソニー),宮波勇樹(ソニー),押山到(ソニー),田中和樹(ソニー),田井香織(ソニー),小川浩二(ソニー),釘宮克尚(ソニー),長濱嘉彦(ソニー),萩本賢哉(ソニー),山本亮(ソニー),神田さおり(ソニー),長野香(ソニー),若林整(ソニー),田川幸雄(ソニー),塚本雅則(ソニー),岩元勇人(ソニー),斎藤正樹(ソニー),門村新吾(ソニー),長島直樹(ソニー)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSatoru Mayuzumi|Junli Wang|Shinya Yamakawa|Yasushi Tateshita|Tomoyuki Hirano|Masashi Nakata|Shinpei Yamaguchi|Yuichi Yamamoto|Yuki Miyanami|Itaru Oshiyama|Kazuki Tanaka|Kaori Tai|Koji Ogawa|Katsuhisa Kugimiya|Yoshihiko Nagahama|Yoshiya Hagimoto|Ryo Yama\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eメタルゲート|High-k|ダマシン|Top-cut|ストレスライナー|eSiGe|HfO2|TiN|HfSix|Metal gate|High-k|Damascene|Top-cut|Stress liner|eSiGe|HfO2|TiN|HfSix\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e757 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46362095747311,"sku":"IEEJ-EDD08043-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8d25745c-fb82-444b-abb4-d6d054a1c75c.png?v=1743619415","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd08043","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}