{"product_id":"ieej-edd09035","title":"最先端リソグラフィー技術とGate-first MG.HKプロセス技術を用いたコスト競争力のある32nm世代CMOS Platform Technology","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD09035\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子･情報･システム部門　電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/03\/09\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eA Cost-Conscious 32nm CMOS Platform Technology with Advanced Single Exposure Lithography and Gate-First Metal Gate.High-K Process\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e長谷川俊介(東芝),北村陽介(東芝),高畑和宏(東芝),岡本浩樹(東芝),宮下桂(東芝),石田達也(東芝),青田正司(東芝),東篤志(東芝),福島崇(東芝),原川秀明(東芝),猪原正弘(東芝),犬宮誠治(東芝),石塚竜嗣(東芝),小島健嗣(東芝),小向敏章(東芝),長友浩二(東芝),松永範昭(東芝),三本木省次(東芝),中嶋一明(東芝),中塚圭祐(東芝),西郡正人(東芝),野町映子(東芝),小川竜二(東芝),岡本晋太郎(東芝),岡野公俊(東芝),沖知普(東芝),小野田裕之(東芝),佐々木俊行(東芝),佐竹正城(東芝),鈴木陽子(東芝),内海邦明(東芝),渡部忠兆(東芝),吉水康人(東芝),成瀬宏(東芝),中山武雄(東芝),松岡史倫(東芝),平井友洋(NEC Electronics),相澤宏一(NEC Electronics),長谷川英司(NEC Electronics),岩本敏幸(NEC Electronics),刈谷奈由太(NEC Electronics),村松諭(NEC Electronics),永原誠司(NEC Electronics),中原寧(NEC Electronics),岡田紀雄(NEC Electronics),鈴木達也(NEC Electronics),田上政由(NEC Electronics),竹田和浩(NEC Electronics),田中聖康(NEC Electronics),谷口謙介(NEC Electronics),富永誠(NEC Electronics),筒井元(NEC Electronics),渡辺普(NEC Electronics),北野友久(NEC Electronics),後藤啓郎(NEC Electronics),中村典生(NEC Electronics)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eS.Hasegawa|Y.Kitamura|K.Takahata|H.Okamoto|T.Hirai|K.Miyashita|T.Ishida|H.Aizawa|S.Aota|A.Azuma|T.Fukushima|H.Harakawa|E.Hasegawa|M.Inohara|S.Inumiya|T.Ishizuka|T.Iwamoto|N.Kariya|K.Kojima|T.Komukai|N.Matsunaga|S.Mimotogi|S.Muramatsu|K.Nagatomo|S.Nagahara\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eコスト|リソグラフィー技術|一度露光|二度露光|メタルゲート|高誘電率絶縁膜|プラットフォーム技術|SRAM|Cost|lithography|single exposure|double patterning|metal gate|high-k|platform technology|SRAM\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,390 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46362157416687,"sku":"IEEJ-EDD09035-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2f0930c3-f536-410a-bfb5-f77170fa7190.png?v=1743623049","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd09035","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}