{"product_id":"ieej-edd10036","title":"気相拡散によって形成されたソース・ドレイン接合をもつ高性能GeO2\/Ge nMOSFET","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD10036\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/03\/26\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh Performance GeO2\/Ge nMOSFETs with Source\/Drain Junctions Formed by Gas Phase Doping\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e森井 清仁(東京大学),岩崎 敬志(東京大学),中根 了昌(東京大学),竹中 充(東京大学),高木 信一(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMorii Kiyohito(The University of Tokyo),Iwasaki Takashi(The University of Tokyo),Nakane Ryosho(The University of Tokyo),Takenaka Mitsuru(The University of Tokyo),Takagi Shinichi(The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＧｅ　ｎＭＯＳＦＥＴ|高移動度|気相拡散|Ge nMOSFETs|high mobility|gas phase doping\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eソース・ドレイン接合形成に気相拡散を用いた高性能なGeO2\/Ge nMOSFETの報告\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eReport on high performance GeO2\/Ge nMOSFETs using gas phase doping for source\/drain junction formation\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e410 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362426081519,"sku":"IEEJ-EDD10036-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bbd14e8a-cc5d-41d6-b615-f6231feec176.png?v=1743627587","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd10036","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}