{"product_id":"ieej-edd11035","title":"単一原子ドーピング法と離散的ドーパントデバイス評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD11035\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSingle atom doping and Discrete Dopant Effects on Transistor Performance\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e品田 賢宏(早稲田大学),堀 匡寛(早稲田大学),平 圭吾(早稲田大学),小松原 彰(早稲田大学),小野 行徳(日本電信電話),谷井 孝至(早稲田大学),遠藤 哲郎(東北大学),大泊 巌(早稲田大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShinada Takahiro(Waseda University),Hori Masahiro(Waseda University),Taira Keigo(Waseda University),Komatsubara Akira(Waseda University),Ono Yukinori(NTT Basic Research Laboratory),Tanii Takashi(Waseda University),Endoh Tetsuo(Tohoku University),Ohdomari Iwao(Waseda University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e単一原子ドーピング|単一イオン注入|離散的ドーパント|ドーパント規則配列|Single atom doping|Single ion implantation|Discrete dopant|Ordered dopant array\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e長年、デバイス特性を制御するために導入されてきたドーパントは微細化によって10年以内に数個になる。しかし、ランダムな分布故、特性ばらつきが大問題となっている。最近、単一イオン注入法の個数制御性を改善し、ドーパント分布がデバイス特性に及ぼす影響を調査したところ、ドレイン側に偏在するドーパント分布は電流を増加させ、規則配列は特性ばらつきを抑制することが判明。本調査を通じて、CMOS技術の延伸に貢献する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eFor reliable deterministic single-atom doping, single-ion detection efficiency is improved by controlling channel potential in transistor. We fabricate transistors with discrete dopants and find that subthreshold current becomes larger when dopants are located at drain-side than source-side. The single-atom doping method could contribute to the extensibility of doped-channel device technologies.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e805 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46362589954287,"sku":"IEEJ-EDD11035-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e2dceb7d-30a5-4526-8eb8-ed5ded2c9616.png?v=1743631446","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd11035","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}