{"product_id":"ieej-edd11041","title":"自己整合型ノーマリーオフGaN MISFET","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD11041\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSelf-Aligned Normally-Off GaN MISFET\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e田口 真也(法政大学),長谷川 一也(法政大学),野本 一貴(法政大学),中村 徹(法政大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShinya Taguchi(Hosei University),Kazuya Hasegawa(Hosei University),Kazuki Nomoto(Hosei University),Tohru Nakamura(Hosei University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eノーマリーオフ|エンハンスモード|窒化ガリウム|電界効果トランジスタ|GaN|MISFET|MOSFET|enhancement|Normally-Off\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e自己整合法、イオン注入法を用いたノーマリーオフGaN MISFETを実証した。作製したデバイスのゲート長2um、ゲート幅50umにおける最大ドレイン電流、最大相互コンダクタンスは、それぞれ150mA\/mm、14mS\/mmであり、しきい値電圧は+0.92Vであった。最大ドレイン電流、最大相互コンダクタンスの値は、過去に報告された従来型のMISFETの中で最も高いものである。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe demonstrate normally-off GaN MISFETs made by utilizing self-alignment process using ion implantation and precisely controlled silicidation gate　technologies. The GaN MISFETs obtained Idss of 150 mA\/mm, gmmax of 14 mS\/mm and threshold voltage of +0.92 V. The Idss and gmmax are the highest value for the conventional GaN MIS-FETs ever reported. \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e570 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 3","offer_id":46362590675183,"sku":"IEEJ-EDD11041-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_bd00c561-594f-42dc-9a52-5878b39f6efa.png?v=1743631472","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd11041","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}