{"product_id":"ieej-edd11043","title":"ECRスパッタSiNの膜質がSiN\/AlGaN\/GaN MIS-HFET特性に与える影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD11043\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/02\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eECR sputtered SiN film quality effects on the characteristics of SiN\/AlGaN\/GaN MIS-HFETs\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e脇 英司(新日本無線),深澤 義道(新日本無線),伏見 浩(新日本無線),江川 孝志(名古屋工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eWaki Eiji(New Japan Radio Co.,Ltd.),Fukasawa Yoshimichi(New Japan Radio Co.,Ltd.),Fushimi Hiroshi(New Japan Radio Co.,Ltd.),Egawa Takashi(Nagoya Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＥＣＲスパッタ|ＳｉＮ|ＡｌＧａＮ／ＧａＮ|ＭＩＳ－ＨＦＥＴ|電流コラプス|ゲートリーク電流|ECR sputter|SiN|AlGaN\/GaN|MIS-HFET|current collapse|gate leakage current\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e低損傷で緻密な成膜が可能なECRスパッタでSiNを作製し，AlGaN\/GaN MIS-HFETに適用して電流コラプスとゲートリークの抑制を試みた．ECRで成膜したSiNでは，SiとNの組成比に依存して，電流コラプスとゲートリークの抑制がトレードオフになる．特に，Si-richなSiNで電流コラプスが抑制された．これらECR特有のSiN膜による特性変化を，過剰に存在するSiの挙動を考え，SiN\/AlGaN界面におけるAl-O結合に関するモデルで説明した．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e739 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362590707951,"sku":"IEEJ-EDD11043-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8d2d638c-de09-4914-85e7-38af94a23fb8.png?v=1743631475","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd11043","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}