{"product_id":"ieej-edd11048","title":"縦型ＩｎＧａＡｓ　ＭＩＳＦＥＴのソース寄生容量削減","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD11048\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/03\/02\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eReduction of source parasitic capacitance in vertical InGaAs MISFET\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e松本 豊(東京工業大学),齋藤 尚史(東京工業大学),宮本 恭幸(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMatsumoto Yutaka(Tokyo Institute of Technology),Saito Hisashi(Tokyo Institute of Technology),Miyamoto Yasuyuki(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e化合物|ＭＩＳＦＥＴ|寄生容量|縦型|compunder|MISFET|parasitic capasitance|vertical\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e　我々は電子の走行する領域をすべて真性半導体として、走行中の電子の散乱を抑制するトランジスタの研究を行っている。今回の報告では、寄生容量削減の為にBCBを挟んだ構造の研究を行った。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe have studied a vertical InGaAs MISFET with an electron launcher and an undoped channel to prevent scattering of electrons. In this report, we studied insertion of BCB insulating layer to reduce the parasitic capacitance.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,291 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362590937327,"sku":"IEEJ-EDD11048-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_516ea473-522f-4207-ac60-f8b8db22918c.png?v=1743631501","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd11048","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}