{"product_id":"ieej-edd13034","title":"カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ集積回路の作製と特性評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD13034\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication and characterization of CNT-TFT integrated circuits \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e水谷 孝(名古屋大学),岸本 茂(名古屋大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMizutani Takashi(Nagoya University),Kishimoto Shigeru(Nagoya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eカーボンナノチューブ|薄膜トランジスタ|集積回路|リング発振器|走査型プローブ顕微鏡|島状電位分布|arbon nanotube|thin-film transistor|integrated circuit|ring oscillator|scanning probe microscopy|island like potential distribution\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e半導体的振る舞いを示すＣＮＴの優先成長が可能なＰＣＶＤを用いて、ＣＮＴ薄膜トランジスタおよびその集積回を作製し、良好な特性を実現した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eMedium scale integrated circuits with more than 100 carbon nanotube (CNT) thin-film transistors (TFTs) have been successfully fabricated. Our fabrication technology features a buried back-gate architecture made by CNT growth using plasma-enhanced chemical vapor deposition, chemical doping and enhancement\/depletion mode logic gates. High-speed operation with a switching time of 0.51 _s\/gate demonstrated by a 53-stage ring oscillator.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e4,053 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46362735247599,"sku":"IEEJ-EDD13034-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_937be9a6-a928-4d64-a401-25779cbde129.png?v=1743637628","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd13034","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}