{"product_id":"ieej-edd13036","title":"GaAsSb\/InGaAs 縦型トンネルFET","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD13036\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eGaAsSb\/InGaAs vertical tunnel FET\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e宮本 恭幸(東京工業大学),藤松 基彦(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMiyamoto Yasuyuki(Tokyo Institute of Technology),Fujimatsu Motohiko(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eGaAsSb\/InGaAsヘテロ接合を用いた縦型トンネルFETについて報告する。26nm幅の素子では71mV\/decのサブスレッショルドスロープが観察された。計算と比較して、有効酸化膜厚1nmが実現できれば、現在の界面準位密度であっても54mV\/decが実現できると推測される。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe fabricated a vertical tunnel field-effect transistor (TFET) with a GaAsSb\/InGaAs heterojunction. The 26-nm width of the narrow channel mesa structure was confirmed. The minimum sub-threshold slope (SS) was 71 mV\/dec. On the basis of our simulated and experimental results, the SS was estimated to be 54 mV\/dec for an effective oxide thickness (EOT) of 1 nm.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,001 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362735444207,"sku":"IEEJ-EDD13036-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_4d3580c8-f5eb-41ce-bd99-a54159757b39.png?v=1743637636","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd13036","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}