{"product_id":"ieej-edd13038","title":"高速InP-IC向け基板貫通ヴィア形成プロセス技術","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD13038\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/03\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication Process Technology of Through Substrate Ground-VIAs for High-Speed InP-ICs\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e堤 卓也(日本電信電話),栗島 賢二(日本電信電話),武藤 美和(日本電信電話),綱島 聡(日本電信電話),松崎 秀昭(日本電信電話)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTsutsumi Takuya(Nippon Telegraph and Telephone Corporation ),Kurishima Kenji(Nippon Telegraph and Telephone Corporation ),Mutoh Miwa(Nippon Telegraph and Telephone Corporation ),Tsunashima Satoshi(Nippon Telegraph and Telephone Corporation ),Matsuzaki Hideaki(Nippon Telegraph and Telephone Corporation )\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eインジウム燐|ヘテロ構造バイポーラトランジスタ|集積回路|基板貫通グランドヴィア|グランド安定化|Indium phosphide|Heterostructure bipolar transistor|Integrated circuit|Through substrate via|Ground stabilization\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eInP-ICチップの高周波化・高利得化に伴い、グランドバウンスによる不安定動作が顕在化している。このグランドバウンスはグランド電位の基板貫通グランドヴィア（GND-VIA）を裏面から高密度形成することにより抑制することができる。今回は①GND-VIA形成プロセス、②GND-VIAの等価回路パラメータ、③プロセスがHBTに与える影響について評価した結果と、GND-VIAを形成したInP-HBT-リミッタアンプの安定化効果（DC ～65 GHz）について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e4,628 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362735509743,"sku":"IEEJ-EDD13038-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a4ef7a6d-8f2a-4b80-a5ea-d97e1d1a21f5.png?v=1743637639","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd13038","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}