{"product_id":"ieej-edd14046","title":"InP-ICサブミリ波帯動作に向けたウェハレベル裏面加工技術","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD14046\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/03\/14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eWafer-level Backside Process Technology for Submillimeter-wave-band Operation of InP-ICs\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e堤 卓也(日本電信電話),小杉 敏彦(日本電信電話),松崎 秀昭(日本電信電話)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakuya Tsutsumi(NTT Corporation),Toshihiko Kosugi(NTT Corporation),Hideaki Matsuzaki(NTT Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eインジウム燐|超高速集積回路|基板共振モード|基板貫通グランドヴィア|サブミリ波\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年タブレット端末やスマートフォンなど高機能通信端末の普及によって、基幹系・アクセス系通信システムの大容量化が求められており、システムに搭載される通信用フロントエンドモジュールへの要求性能も飛躍的に上昇している。しかしIC が数十GHz のマイクロ波領域で動作するようになると、伝送線路やトランジスタから高周波信号が基板側に放射され、共振を生じさせてIC 動作を不安定化する「基板共振」現象が顕著になる。今回、サブミリ波領域（\u0026lt; 300 GHz）までのInP-ICの広帯域安定動作に寄与する裏面プロセスを開発し、実際にInP-IC の安定動作を確認したので、その結果を報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eA wafer-level backside process technology for a 3-inch InP wafer has been developed for stable ultra-high-frequency operation of InP-based ICs.  Finally, our developed backside process realizes stable operation of 300 GHz-range InP-HEMT amplifier with no oscillation and good port isolation.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e960 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46362827555055,"sku":"IEEJ-EDD14046-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_40342f66-1c0e-4a7f-afa0-421652017614.png?v=1743640713","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd14046","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}