{"product_id":"ieej-edd15038","title":"InP系DHBTの低駆動電圧化・超高速化に向けたInGaAsSb四元混晶のMOCVD成長","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEDD15038\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子デバイス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2015\/03\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMOCVD growth of InGaAsSb for high-speed InP-based DHBTs with low-turn-on voltage\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e星 拓也(日本電信電話),柏尾 典秀(日本電信電話),杉山 弘樹(日本電信電話),横山 春喜(日本電信電話),栗島 賢二(日本電信電話),井田 実(日本電信電話),松崎 秀昭(日本電信電話)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTakuya Hoshi(NTT Corporation),Norihide Kashio(NTT Corporation),Hiroki Sugiyama(NTT Corporation),Haruki Yokoyama(NTT Corporation),Kenji Kurishima(NTT Corporation),Minoru Ida(NTT Corporation),Hideaki Matsuzaki(NTT Corporation)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eインジウムガリウムヒ素アンチモン|有機金属化学気相堆積|ヘテロ接合バイポーラトランジスタ|ターン・オン電圧|組成傾斜ベース|InGaAsSb|MOCVD|HBT|Turn-on voltage|compositionally-graded base\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eInP系DHBTを低駆動電圧化かつ超高速化すべくInGaAsSbのMOCVD成長について報告する。固相組成制御のための熱力学計算技術を確立し、これを応用して、低温成長による高いIn組成と高正孔濃度化を両立した。その結果、InP系DHBTとしては世界最高水準の低駆動電圧化を実現した。さらに、簡便かつ効果的な組成傾斜InGaAsSbベース形成手法であるCBr4流量変調法を提案し、その組成制御性における優位性と、電流利得遮断周波数の向上効果を実証した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eWe investigated the MOCVD growth of InGaAsSb quaternary for high-speed InP-based DHBTs with low-turn-on voltage. We obtained high In content C-doped InGaAsSb with high hole concentration by lowering the growth temperature. Fabricated DHBT with 0.25-um-emitter exhibits very low turn-on voltage. We also demonstrated high-fT DHBT with compositionally-graded InGaAsSb base formed by CBr4-flow modulation method.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e2,106 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362868744431,"sku":"IEEJ-EDD15038-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_6025a4bd-1765-4347-938b-e96a618f0dae.png?v=1743642448","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-edd15038","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}