{"product_id":"ieej-efm05030","title":"130,90,65mm及びそれ以降の多層配線技術におけるlow-k絶縁膜技術","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM05030\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2005\/06\/03\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003ehallenge of low-k materials for 130,90,65nm mode interconnect technology and beyond\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e宮島秀史(東芝),渡邊桂(東芝),藤田敬次(東芝),伊藤祥代(東芝),秋山和隆(東芝),蜂谷貴世(東芝),東和幸(東芝),中村直文(東芝),梶田明広(東芝),松永範昭(東芝),猪原正弘(東芝),本多健二(東芝),上條浩幸(東芝),中田錬平(東芝),矢野博之(東芝),早坂伸夫(東芝),柴田英毅(東芝),依田孝(東芝),田測清隆(ソニー),鳥山努(ソニー),榎本容幸(ソニー),金村龍一(ソニー),長谷川利昭(ソニー),門村新吾(ソニー)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eH.MiyaJlma|K.Watanabe|K.Fujita|S.Ito|K.Akiyama|T.Hachiya|K.Higashi|N.Nakamura|A.Kajita|N.Matsunaga|M.Inohara|K.Honda|H.Kamijo|R.Nakata|H.Yano|N.Hayasaka|H.Shibata|T.Yoda|K.Tabuchi|T.Shimayama.Y.Enomoto|R.Kanamura|T.Hasegawa|S.Kadomur\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e低誘電率|層間絶縁膜|多層配線|デュアルダマシン|ハイブリッド\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e986 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46361654493423,"sku":"IEEJ-EFM05030-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d535f4c3-b3b0-4856-bcae-6f5979fefb56.png?v=1743609953","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-efm05030","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}