{"product_id":"ieej-efm06001","title":"MO-CVDによるSrBi2Ta2O9薄膜を用いた0.25μm級FeRAM用スタックキャパシタの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM06001\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/06\/28\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of 0.25μm FeRAM stacked capacitor with MO-CVD SrBi2Ta2O9 film\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山野辺 智美(沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部),一森高示 (沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部),小澤 晋也(沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部),高屋 浩二(沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部),林 孝尚(沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部),足利 欣哉(沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部),小林 康孝(沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部),長友 良樹(沖電気工業 半導体事業グループ 研究本部)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eTomomi Yamanobe(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.),Takashi Ichimori(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.),Shinya Ozawa(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.),Koji Takaya(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.),Takahisa Hayashi(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.),Kinya Ashikaga(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.),Yasutaka Kobayashi(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.),Yoshiki Nagatomo(Semiconductor R\u0026amp;D division,Semiconductor Business Group,Oki Electric Industry Co.,Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eSBT| MO-CVD| FeRAM| スタックキャパシタ|密封構造\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,017 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46361748406511,"sku":"IEEJ-EFM06001-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b1710d65-7356-4f5f-aea4-b4ec1c965014.png?v=1743613462","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-efm06001","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}