{"product_id":"ieej-efm06018","title":"スパッタエピタキシー技術と量子効果デバイスへの応用","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM06018\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/10\/03\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eSiGe Sputter Epitaxy and Its Application to Quantum Effect Devices\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e須田 良幸(東京農工大学),花房 宏明(東京農工大学),小林 忠正(東京農工大学),高橋 陽一(東京農工大学),前川 裕隆(東京農工大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYoshiyuki Suda(Tokyo University of Agriculture and Technology),Hiroaki Hanabusa(Tokyo University of Agriculture and Technology),Tadamasa Kobayashi(Tokyo University of Agriculture and Technology),Yoichi Takahashi(Tokyo University of Agriculture and Technology),Hirotaka Maekawa(Tokyo University of Agriculture and Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eSiGe| CMOS| スパッタ|エピタキシ|環境負荷|量子効果デバイス|共鳴トンネルダイオード\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e694 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46361750274287,"sku":"IEEJ-EFM06018-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5e7bbdbc-2fe0-41e6-8681-55c97ea98a4f.png?v=1743613524","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-efm06018","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}