{"product_id":"ieej-efm08002","title":"HfSiON\/TiNゲートスタックpMOSFETの陰極電子注入絶縁破壊モデルに基づくTDDB寿命予測方法","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM08002\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/05\/14\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eCathode Electron Injection Breakdown Model and Time Dependent Dielectric Breakdown Lifetime Prediction in High-k \/ Metal Gate Stack pMOSFETs\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤 基之(半導体先端テクノロジーズ),青山 敬幸(半導体先端テクノロジーズ),奈良 安雄(半導体先端テクノロジーズ),大路 譲(半導体先端テクノロジーズ),蓮沼 隆(筑波大学),山部 紀久夫(筑波大学),白石 賢二(筑波大学),宮崎 誠一(広島大学),山田 啓作(早稲田大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMotoyuki Sato(Semiconductor Leading Edge Technologies Inc.),Takayuki Aoyama(Semiconductor Leading Edge Technologies Inc.),Yasuo Nara(Semiconductor Leading Edge Technologies Inc.),Yuzuru Ohji(Semiconductor Leading Edge Technologies Inc.),Ryu Hasunuma(University of Tsukuba),Kikuo Yamabe(University of Tsukuba),Kenji Shiraishi(University of Tsukuba),Seiichi Miyazaki(Hiroshima University),Keisaku Yamada(Waseda University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e経時的絶縁破壊|陰極電子注入|実効的仕事関数|酸素欠損|TDDB|cathode electron injection|effective workfunction|oxygen vacancy\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e792 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46362104856815,"sku":"IEEJ-EFM08002-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_f833d55b-3222-42e4-baa1-3fb464081461.png?v=1743620104","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-efm08002","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}