{"product_id":"ieej-efm08027","title":"SSON構造から作製したGAA型ひずみチャネルSi-MOSFETの電気特性とNBDによるひずみの評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM08027\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門　電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/09\/27\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication and evaluation of GAA strained-Si MOSFET formed from SSON structures and strain analysis of strain in the MOSFET by NBD method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e臼田 宏治(半導体MIRAI-ASET),中払周 (半導体MIRAI-ASET),入沢 寿史(半導体MIRAI-ASET),守山 佳彦(半導体MIRAI-ASET),平下 紀夫(半導体MIRAI-ASET),手塚勉 (半導体MIRAI-ASET),杉山 直治(半導体MIRAI-ASET),山下 良美(半導体MIRAI-ASET),山本豊二 (半導体MIRAI-ASET),木曽修 (半導体MIRAI-産総研ASRC),田岡 紀之(半導体MIRAI-産総研ASRC),高木 信一(東大)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eK. Usuda(MIRAI-ASET),S. Nakaharai(MIRAI-ASET),T. Irisawa(MIRAI-ASET),Y. Moriyama(MIRAI-ASET),N. Hirashita(MIRAI-ASET),T. Tezuka(MIRAI-ASET),N. Sugiyama(MIRAI-ASET),Y. Yamashita(MIRAI-ASET),O. Kiso(MIRAI-ASET),T. Yamamoto(MIRAI-ASET),N. Taoka(MIRAI-ASRC),S. Takagi(The Univ. of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eひずみ|チャネル|Si|Ge|MOSFET|SOI|SSOI|SON|SSON|NBD|strain|channel|Si|Ge|MOSFET|SOI|SSOI|SON|SSON|NBD\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e565 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46362105381103,"sku":"IEEJ-EFM08027-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_b7ea1e76-0227-4076-ade2-7cf7ca20aa21.png?v=1743620142","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-efm08027","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}