{"product_id":"ieej-efm17007","title":"低In、Ga領域における低温塗布プロセスIGZO薄膜トランジスタの作製と評価","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eEFM17007\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2017\/06\/30\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFabrication and evaluation of low temperature solution processed IGZO thin film transistor with low rare metal composition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e工藤 一浩(千葉大学),田中 光(千葉大学),山内 博(千葉大学),岡田 悠悟(千葉大学),酒井 正俊(千葉大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKazuhiro Kudo(Chiba University),Hikaru Tanaka(Chiba University),Hiroshi Yamauchi(Chiba University),Yugo Okada(Chiba University),Masatoshi Sakai(Chiba University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＩＧＺＯ|薄膜トランジスタ|低温プロセス|フレキシブルデバイス|紫外線オゾン処理|低レアメタル|IGZO|thin film transistor|low temperature process|flexible device|violet\/ozone treatment|low-rare-metal\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究ではフレキシブルデバイス（ディスプレイ、情報タグ）の作製を目指して、溶液法でInとGaの組成比が小さい領域でZnO系薄膜トランジスタ(IGZO-TFT)を作製した。混合比率をIn = Ga とした場合、12%周辺に移動度のピークを持つことがわかった。また紫外線オゾン(UV\/O3)アシスト加熱による低温プロセス化の検討を行った結果、200°C以下でもTFT変調が確認され、フレキシブルデバイスの実現可能性が示された。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eIn this study, we fabricated low-rare-metal (In, Ga) ZnO thin film transistor (IGZO-TFT) for flexible devices (displays, information tag) at low temperature. The mobility peak of solution processed IGZO-TFTs was observed in at low composition ratio around 12% In, Ga. The ultra-violet\/ozone assisted thermal treatment was found to be effective for lowering the process temperature of IGZO-TFT less than 200°C.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,593 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46362970652911,"sku":"IEEJ-EFM17007-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_8fc72ca1-ff3d-4e1b-b93c-9a62e544ac34.png?v=1743647078","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-efm17007","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}