{"product_id":"ieej-iic11171","title":"自己共振相殺制御を用いた3慣性系の制振制御","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eIIC11171\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 産業計測制御研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/09\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eVibration Suppression Position Control of Three-inertia Systems  Using Self Resonance Cancellation Control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e白石 貴行(東京大学),藤本 博志(東京大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShiraishi Takayuki(The University of Tokyo),Fujimoto Hiroshi(The University of Tokyo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eボールねじ駆動ステージ|制振制御|自己共振相殺制御|ballscrew-drive|vibration suppression control| self resonance cancellation control\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年，工作機械や露光装置などの高精度位置決め機器において，モータ位置に加えてステージ位置も検出可能な機器が増加してきている。本研究では，ボールねじ駆動ステージの精密位置決め制御に，複数センサを用いて高帯域化を図る自己共振相殺制御を適用し，位置決め精度の向上を図るものである。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,149 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46362577764591,"sku":"IEEJ-IIC11171-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_e734f33e-29cd-4c66-8bb1-174558938e2e.png?v=1743630675","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-iic11171","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}