{"product_id":"ieej-im11010","title":"レーザ走査リソグラフィによる微細管・線材上への螺線パターン形成","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eIM11010\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 計測研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2011\/02\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHelical Patterning onto Fine Pipe and Wire Specimens Using Laser Scan Lithography\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e堀内 敏行(東京電機大学),石井 秀敏(東京電機大学),篠崎 保秀(東京電機大学),小川 哲矢(東京電機大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eHoriuchi Toshiyuki(Tokyo Denki University),Ishii Hidetoshi(Tokyo Denki University),Shinozaki Yasuhide(Tokyo Denki University),Ogawa Tetsuya(Tokyo Denki University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eリソグラフィ|パイプ|線材|螺線パターン|レーザ|走査露光|lithography|pipe|wire|helical pattern|laser |scan exposure\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e微細銅パイプ、ステンレス線材の表面にレーザ走査リソグラフィによって螺線パターンを形成する技術を開発した。波長473nmの固体青色レーザ光を整形、縮小投影して試料に当て、試料を回転、直動させて表面に塗布したレジストを露光した。直径100μmの銅パイプに線幅約10μmのパターンを形成でき、直径80μmのステンレス鋼線材に線幅約50μmのパターンを線幅ばらつき±5%以下で形成できた。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eHelical patterning technology on fine pipe and wire specimens was developed. Helically moved specimens were exposed to solid blue laser light. The minimum 10-μm patterns were delineated onto 100-μm copper pipes, and width variations of 50-μm patterns delineated on 80-μm diameter stainless steel wires were within ±5%.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e680 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46362539852015,"sku":"IEEJ-IM11010-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9f788297-0ed0-4f8a-aa67-eacbb1cd4f3f.png?v=1743629630","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-im11010","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}