{"product_id":"ieej-lav06007","title":"EUV多層膜用キャッピングレイヤの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eLAV06007\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　光応用・視覚研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2006\/03\/03\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eDevelopment of capping layers on multi-layer mirrors for EUV lithography tool\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e松成 秀一(EUVA),青木 貴史(EUVA),村上 勝彦(EUVA),寺島 茂(EUVA),高瀬 博光(EUVA),五明 由夫(EUVA),角谷 幸信(兵庫県立大 高度研),新部正人 (兵庫県立大 高度研)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShuichi Matsunari(EUVA),Takashi Aoki(EUVA),Katsuhiko Murakami(EUVA),Shigeru Terashima(EUVA),Hiromitsu Takase(EUVA),Yoshio Gomei(EUVA),Yukinobu Kakutani(LASTI,University of Hyogo),Masahito Niibe(LASTI,University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e極端紫外線|リソグラフィー|コンタミ|酸化|多層膜|キャッピングレイヤ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,137 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46393561612527,"sku":"IEEJ-LAV06007-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a0c8ac5a-a516-4e40-ad7a-a8a70b527b5b.png?v=1744696911","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-lav06007","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}