{"product_id":"ieej-ld13003","title":"電極層間ギャップを潤滑油のみで維持する多層構造静電アクチュエータを用いた微動ステージ","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eLD13003\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【D】産業応用部門 リニアドライブ研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/02\/21\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFine Motion Stage with Multilayer Electrostatic Actuator Having the Gaps between Electrode Layers Maintained by Only Lubricating Oil\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e佐藤 海二(東京工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eSato Kaiji(Tokyo Institute of Technology)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e静電アクチュエータ|多層|摩擦|潤滑油|位置決め|精密|electrostatic actuator|multilayer|friction|lubricating oil|positioning|precision\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e著者の研究グループは，電極層間に挿入された潤滑油のみで，層間の良好な潤滑特性を確保し，超精密な位置決めを実現する研究に取り組んでいる．従来の多層構造静電アクチュエータに，潤滑油のみを挿入し，適切な駆動信号を印加すると，層間ギャップを制御することが可能で，保持力を増大させることもできる．本報では，電極層間に潤滑油のみが挿入された，多層構造静電アクチュエータの基本特性と位置決め性能について紹介する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThis paper describes the multilayer electrostatic actuator of which the gaps between electrode layers are maintained by only lubricating oil. The structure and driving principle and of the actuator are introduced and the positioning results with the actuator are experimentally shown.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e937 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46394356039919,"sku":"IEEJ-LD13003-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2efbb107-ca46-4c2c-b166-3d1374bf5ba8.png?v=1744726708","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-ld13003","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}