{"product_id":"ieej-mag07145","title":"DREI装置と磁性体の微細加工","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG07145\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/12\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eElectric Field Computation Errors on Electrode in Charge Simulation Method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e上ノ段暁(九州工業大学),竹澤昌晃(九州工業大学),森本祐治(九州工業大学),本田崇(九州工業大学),山崎二郎(九州工業大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkira Uenodan|Masaki Takezawa|Yuji Morimoto|Jirou Yamasaki\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eSiマイクロマシニング| RIE| DRIEプロセス| O2プラズマ| 側壁保護|磁気繊毛\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e近年、小型生産システム「マイクロファクトリ」は、少量多品種の部品を省スペース、省エネルギーで生産できる革新的なシステムとして大きく期待されている。このシステムは、マイクロ部品を加工するユニット、システム外で加工された部品を供給するユニット、これらの部品を精密に組み立てるユニット、そして前記3つを統合する搬送するユニットから主に構成されており、各ユニットにおける小型化やそのための要素技術の開発が行われている。本研究ではこの搬送機構を目的とし、磁性体を用いた「磁気繊毛アクチュエータ」を提案している。これは、搬\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eRecently, small production systems, so-called “micro-factory”, are expected as the innovative system that can manufacture a wide variety of products in small quantities with space-saving, energy saving greatly. This system consists of a unit to supply pro\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e612 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 8","offer_id":46368150913263,"sku":"IEEJ-MAG07145-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_6614a5ca-df7b-4da5-a164-496a3f997904.png?v=1743826547","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag07145","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}