{"product_id":"ieej-mag07156","title":"FeCoスパッタ薄膜の酸素微量含有及びその磁気特性への影響","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG07156\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2007\/12\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eOxygen impurity and its effects on the magnetic properties of FeCo sputtered thin films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e劉小晰 (信州大学),森迫 昭光(信州大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eXiaoxi,Liu|Akimitsu,Morisako\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e軟磁性薄膜|高飽和磁化|ガス反応性スパッタ|不純物\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eOxygen is found to be the main impurity in sputtered FeCo thin films. Oxygen free FeCo films are successfully prepared by introducing acetylene gas incorporated with argon gas during the sputtering process. The saturation magnetization first increases wit\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e308 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 7","offer_id":46368152584431,"sku":"IEEJ-MAG07156-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_6332f22e-7622-4767-860d-cdcc85360f1a.png?v=1743826591","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag07156","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}