{"product_id":"ieej-mag08199","title":"スパッタ粒子堆積シュミレーションによるCoFeB 膜の異方性磁界の検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG08199\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門　マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2008\/12\/19\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eAn Examination of Uniaxial Anisotropy Field of the CoFeB Thin Film by a Simulation of Spattering Particle Deposition\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e宗像 誠(崇城大学),今泉良一 (崇城大学),大越 正敏(九州工業大学),槙 孝一郎(住友金属鉱山)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eMakoto Munakata( Sojo Univ. ),Ryoichi Imaizum( Sojo Univ. ),Masatoshi Ohkoshi(Kyusyu Insttitute of Techonology),Kouchirou Maki(Sumitomo Metal Mine Co. ,Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e３元RF マグネトロンスパッタ法| CoFeB 膜，異方性磁界triple RF-magnetron spattering| CoFeB film| anisotropy field\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003e(Co35Fe65 )Bmagnetic films with Ru underlayer were fabricated and characterized using a triple RF-magnetron spattering method.High velocity movement of the substrate brought that the Ru underlayer and B enhanced uniaxial anisotropy field with increasing e\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e919 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 9","offer_id":46372882448623,"sku":"IEEJ-MAG08199-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_981e3ec1-aea9-4187-a09f-4a5ac6aec848.png?v=1744004236","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag08199","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}