{"product_id":"ieej-mag09077","title":"カルーセルスパッタ法で作製したCoFeB膜におけるスパッタ粒子の異方性入射効果","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG09077\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎･材料･共通部門　マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2009\/08\/07\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe anisotropically incident effect of sputtering particle on CoFeB film in the carousel sputtering method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e今泉 良一(崇城大学),田原 誠(崇城大学),宗像 誠(崇城大学),大越 正敏(九州工業大学),槙 孝一郎(住友金属鉱山),青木振一 (崇城大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eRyoichi Imaizumi(Sojo Univ.),Makoto Tabaru(Sojo Univ.),Makoto Munakata(Sojo Univ.),Masatoshi Ohkoshi(Kyushu Institute of Technology),Kouichirou Maki(Sumitomo Metal Mine Co.,Ltd.),Shin-ichi Aoqui(Sojo Univ.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e3元RFマグネトロンスパッタ法|CoFeB膜|異方性磁界|triple RF-magnetron spattering|CoFeB film|anisotropy field\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,069 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 11","offer_id":46372918984943,"sku":"IEEJ-MAG09077-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_24179cd3-45f8-44af-8e3b-b949dad16e32.png?v=1744005739","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag09077","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}