{"product_id":"ieej-mag10090","title":"カルーセルスパッタ法で作製したCoFeB膜とCoFeSm膜の異方性入射効果","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG10090\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/08\/03\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eThe Anisotropically Incident Effect of CoFeB and CoFeSm Film in the Carousel Sputtering Method\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e今泉 良一(崇城大学),宗像 誠(崇城大学),大越 正敏(九州工業大学),槙 孝一郎(住友金属鉱山)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eImaizumi Ryoichi(Sojo University),Munakata Makoto(Sojo University),Ohkoshi Masatoshi(Kyushu Institute of Technology),Maki Kouichirou(Sumitomo Metal Mine Co. ,Ltd.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eカルーセルスパッタ法|ＣｏＦｅＳｍ膜|ＣｏＦｅＢ膜|異方性磁界|異方性入射効果|carrousel sputtering|CoFeSm film|CoFeB film|large anisotropy field|anisotropic incidence\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e著者らは，カルーセルスパッタ法で作製した磁気共鳴周波数約9GHzのCoFeB膜についてスパッタ粒子のモンテカルロシミュレーションを行い，スパッタ粒子の異方性入射機構に対応したB粒子の原子配列を報告してきた．本研究では，Bの代わりにSmを添加したCoFeSm膜の異方性入射効果についてシミュレーションによって検討し，その結果について報告する．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e5,260 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46376695562479,"sku":"IEEJ-MAG10090-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_9ef25f4c-9cbc-4d23-8f54-e4e156e69ae5.png?v=1744112055","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag10090","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}