{"product_id":"ieej-mag10134","title":"インパルス電圧による非接触式シート抵抗測定法","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG10134\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/11\/01\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eContactless Method for Measuring Sheet Resistance by Means of Impulse Voltage\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e大井 翔太(千葉大学),秋元 翔太(千葉大学),早乙女 英夫(千葉大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eOoi Shota(Chiba University),Akimoto Shota(Chiba University),Saotome Hideo(Chiba University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eシート抵抗|抵抗率|導電率|ウェハ|渦電流|インパルス電圧|sheet resistance|resistivity|conductivity|wafer|eddy current|impulse voltage\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e試料のジュール発熱を最小限にしたインパルス電圧による非接触式シート抵抗測定法について，その原理と実験結果を述べる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eThis paper presents a novel contactless method for measuring the sheet resistance with impulse voltage which causes minimal Joule heat in the wafers. The novel method needs no analogue electronic circuit being sensitive to the thermal drift. Experimental results show that the proposed method has high possibility for the application to practical use.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e3,477 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46376699920623,"sku":"IEEJ-MAG10134-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_05070c92-9cf5-48e1-b7fa-5f1d76197141.png?v=1744112290","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag10134","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}