{"product_id":"ieej-mag10211","title":"ガスフロースパッタ法によるL10規則化したFePt薄膜における粒子の微細化","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG10211\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2010\/12\/17\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eFormation of closely packed grains with L10 ordering in gas-flow-sputtered FePt thin films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e設楽 修平(宇都宮大学),小田嶋 亮(宇都宮大学),佐藤 芳樹(宇都宮大学),佐久間 洋志(宇都宮大学),石井 清(宇都宮大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eShidara Shuhei(Utsunomiya University),Odashima Ryo(Utsunomiya University),Sato Yoshiki(Utsunomiya University),Sakuma Hiroshi(Utsunomiya University),Ishii Kiyoshi(Utsunomiya University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e鉄白金|ガスフロースパッタ|規則化|微細構造|保磁力|微細構造モデル|FePt|Gas flow sputtering|Ordering|Microstructure|Coercivity|Structure zone model\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e堆積中の基板加熱および真空中のアニールの2つの加熱法を用いて、ガスフロースパッタによってFePt薄膜を作製しL10規則化と微細構造について評価した。2つの方法ともに300℃かつ膜厚が60nm のFePt薄膜において規則度が0.6を超える膜が得られた。堆積中の基板加熱においては緻密な柱状構造からなり、真空中のアニールではボイドを含んだ膜を形成した。2つの加熱法によって作製された膜の微細構造の違いは、微細構造モデルによって説明する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,084 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46376704835823,"sku":"IEEJ-MAG10211-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_486afbff-35b4-4420-a507-8b0eb2fab0b9.png?v=1744112555","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag10211","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}