{"product_id":"ieej-mag12087","title":"コプレーナ線路を用いた高感度薄膜磁界センサの開発","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG12087\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/09\/24\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHighly accurate thin film sensor using coplanar line\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e木村 卓文(東北学院大学),中野 弘道(東北学院大学),薮上 信(東北学院大学),小澤 哲也(東北学院大学),小林 伸聖(電磁材料研究所),荒井 賢一(電磁材料研究所),池田 賢司(太陽誘電)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKimura Takafumi(Tohoku Gakuin University),Nakano Hiromichi(Tohoku Gakuin University),Yabukami Shin(Tohoku Gakuin University),Ozawa Tetsuya(Tohoku Gakuin University),Kobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electric and Magnetic materials),Arai Ken-Ichi(Research Institute for Electric and Magnetic materials),Ikeda Kenji(TAIYO YUDEN CO.,LTD.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eコプレーナ線路|薄膜磁界センサ\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e高誘電薄膜（SrTiO3）、Cu薄膜によるコプレーナ線路およびCoNbZr薄膜を薄膜プロセスにより一体化した薄膜磁界センサを作製し，高い空間分解能の高感度磁界計測を目指した。また微細加工技術によりほぼ同一測定のセンサ素子を作成し，差動センサの構成を検討した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,239 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 4","offer_id":46380762988783,"sku":"IEEJ-MAG12087-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_5902a3d0-2314-4832-94f4-15fc052a07cf.png?v=1744205685","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag12087","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}