{"product_id":"ieej-mag12101","title":"FeCo-Si-AlFナノグラニュラー膜の膜構造制御とTMR","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG12101\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/09\/25\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eStructure control and TMR of FeCo-Si-AlF nano granular films\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小林 伸聖(電磁材料研究所),石田 今朝男(電磁材料研究所),岩佐 忠義(電磁材料研究所),鶴井 隆雄(東北大学金属材料研究所),荒井 賢一(電磁材料研究所),増本 健(電磁材料研究所)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKobayashi Nobukiyo(Research Institute for Electromagnetic Materials),Ishida Kesao(Research Institute for Electromagnetic Materials),Iwasa Tadayoshi(Research Institute for Electromagnetic Materials),Tsurui Takao(Institute for Materials Research),Arai Ken-Ichi(Research Institute for Electromagnetic Materials),Masumoto Tsuyoshi(Research Institute for Electromagnetic Materials)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eナノグラニュラー|磁気抵抗効果|ナノ構造|磁性薄膜|磁気センサー|nano granular|magnetoresistance|nano structure|magnetic thin film|magnetic sensor\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003eFe-Co合金とフッ化物絶縁体からなるナノグラニュラー膜は、高感度磁気センサGIGSに用いられるTMR薄膜材料である。本研究では、加熱基板上に作製することにより、これらグラニュラー膜の膜構造の制御を試み、その膜構造と磁気特性およびTMRを検討した。その結果、610℃の基板上に成膜したFeCo-Si-AlF膜は、FeCo合金からなるグラニュールの粒径が大きく成長(5-10nm)し、粒界相のAlF3は結晶相であり、FeCoグラニュールが結晶相のAlF3粒界相を介してほぼ均一に分散した構造を有する。従来の室温基板上に作製されたナノグラニュラーTMR膜では、超常磁性でなければTMRを示さないのに対し、加熱基板上に作製した膜は強磁性と同時にTMRを示す。このように、基板加熱によってマトリックスの結晶性と磁性グラニュールの粒径を制御することによって、強磁性とTMRを有する膜が得られる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,289 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46380764659951,"sku":"IEEJ-MAG12101-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2b627329-d104-405a-b42a-1c9ca6e62fd7.png?v=1744205723","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag12101","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}