{"product_id":"ieej-mag12170","title":"NdFeBスパッタ薄膜の微細加工と応用デバイス","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG12170\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2012\/12\/20\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eMicrofabrication process for NdFeB sputtered film and its application\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e小峠 竜也(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),田中 祐至(兵庫県立大学),上原 稔(日立金属),神田 健介(兵庫県立大学),樋口 行平(科学技術振興機構),前中 一介(兵庫県立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eKotouge Tatsuya(University of Hyogo),Fujita Takyuki(University of Hyogo),Tanaka Yuji(University of Hyogo),Uehara Minoru(Hitachi NeoMax Co.,Ltd),Kanda Kensuke(University of Hyogo),Higuchi Kohei(Japan Science and Technology Agency),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＮｄＦｅＢ|スパッタ|微細加工|ＭＥＭＳ|薄膜磁石|機械研磨|NdFeB|sputtering|microfabrication|MEMS|thin-film magnet|mechanical polishing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本研究では微細加工されたシリコン基板上へNdFeBのスパッタによって磁性膜を埋め込み，その後研磨するプロセスとあわせることで，NdFeB 薄膜とMEMS デバイスの融合技術を確立した。報告では，NdFeBスパッタ成膜プロセスや応用デバイスであるエナジーハーベスタの作製，評価例について報告する。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,492 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46380769247471,"sku":"IEEJ-MAG12170-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_da853f3a-8788-42ba-a9ff-dd2af379f221.png?v=1744205918","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag12170","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}