{"product_id":"ieej-mag13075","title":"等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石のSi基板上への成膜","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG13075\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2013\/08\/08\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eIsotropic Nd-Fe-B thick film magnets deposited on Si substrates\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e押領司 学(長崎大学),中野 正基(長崎大学),藤井 泰久(KRI),柳井 武志(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eOryoshi Manabu(Nagasaki university),Nakano Masaki(Nagasaki university),Fujii Yasuhisa(KRI cooperation),Yanai Takeshi(Nagasaki university),Fukunaga Hirotoshi(Nagasaki university)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e厚膜磁石|ＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　）法|Ｓｉ基板|保磁力|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石|Ｔａバッファー層|thick film magnet|PLD(Pulsed Laser Deposition ) method|Si substrate|coercivity |Nd-Fe-B magnets|Ta buffer layer\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々はPLD(Pulsed Laser Deposition)法を用い，FeもしくはTa基板等の金属基板上に200 μm厚以上の等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石を成膜し，ミリサイズモータや摩擦駆動型モータに応用してきた。本研究では，MEMSへの応用範囲の拡大を鑑み，上述のPLD法を用い，10 ～100 m厚の広い膜厚範囲でNd-Fe-B系厚膜磁石をSi基板上に成膜した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003ePLD- made Nd-Fe-B thick film magnets thicker than 200 microns deposited on Fe or Ta substrates have been applied to a milli-size motor together with a friction drive motor. This contribution reports the deposition of Nd-Fe-B films with the thickness range from 10 to 100m on Si substrates in order to enhance the application filed of MEMS.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e728 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46385024631023,"sku":"IEEJ-MAG13075-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_a37724ed-2cc4-4c80-9ff9-12f266bf8c78.png?v=1744332672","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag13075","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}