{"product_id":"ieej-mag14116","title":"磁性薄膜電力センサの熱処理による感度の改善に関する研究","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG14116\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/08\/08\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eHigh Sensitive Magnetic Thin Film Power Sensor by Annealing\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e乘松 直樹(大阪市立大学),辻本 浩章(大阪市立大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eNorimatsu Naoki(Osaka City University),Tsujimoto Hiroaki(Osaka City University)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003e電力センサ|スマートグリッド|アニール処理|熱処理|内部応力|電力測定|power sensor|Smart grid|annealing|heat‐treat|internal stress|power measurement\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e磁性薄膜電力センサは小型・軽量・出力がリアルタイムという特徴を活かしスマートグリッドのキーデバイスになると期待されている．しかし，このセンサはμVオーダーと出力が小さく，またセンサの誤差も最大で8％と非常に大きいという問題があった．そこで，センサに600℃でアニール処理を施し，内部応力の除去を行った．すると，実際に電力測定を行ってみると出力が1.5倍向上し，誤差のばらつきを半分に抑えることに成功した．\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eA magnetic thin film power sensor is expected to be an important device of “Smart grid” .　However, the output of this sensor is low.Therefore, I made this sensor high sensitive by annealing.As a result, Not only the output of the sensor increased 1.6 times, but the error became 1\/3.  \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,509 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 6","offer_id":46385064313071,"sku":"IEEJ-MAG14116-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_68f23b5e-430a-492a-9502-c6588f102d25.png?v=1744334210","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag14116","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}