{"product_id":"ieej-mag14128","title":"Ｓｉ基板上に成膜した等方性Ｎｄ-Ｆｅ-Ｂ系厚膜磁石の特性と切削加工","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG14128\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2014\/08\/05\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eProperties of isotropic Nd-Fe-B thick-film magnets deposited on Si substrates and their machining \u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山下 昂洋(長崎大学),押領司 学(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),藤井 泰久(KRI),松本 信子(KRI),福永 博俊(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eYamashita Akihiro(Nagasaki Univ.),Oryoshi Manabu(Nagasaki Univ.),Yanai Takeshi(Nagasaki Univ.),Nakano Masaki(Nagasaki Univ.),Fujii Yasuhisa(KRI corp.),Matsumoto Nobuko(KRI corp.),Fukunaga Hirotoshi(Nagasaki Univ.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＰＬＤ（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法|Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ|シリコン基板|ダイシング|等方性|厚膜磁石|PLD(Pulsed Laser Deposition)|Nd-Fe-B|Si substrates|Dicing|isotropic|thick film magnets\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e我々は，PLD法を用い，数10 μm\/h以上の成膜速度下で100 μm厚以上の等方性Nd-Fe-B系厚膜磁石をFeやTa等の金属基板上に成膜し，ミリサイズモータや摩擦駆動型モータに応用してきた。本研究では，MEMS応用を鑑み，バッファー層を施すことなく，Si基板上に直接成膜した10 ～100 m厚のNd-Fe-B系厚膜磁石の磁気特性ならびに機械的特性と、得られた試料に対するダイシング加工を施した結果を述べる。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eLast year, we reported the preparation of isotropic Nd-Fe-B thick-film magnets on Si substrates with a Ta buffer layer in this meeting. The samples, however, were broken after a dicing process due to the hardness of Ta. This contribution reports an increase in Nd contents of the samples enables us to increase the thickness up to 100 μm without a buffer layer. Resultantly, we succeeded in dicing the above-mentioned Nd-Fe-B films deposited on each Si substrate.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,141 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46385063461103,"sku":"IEEJ-MAG14128-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_d080fcac-25a4-43ac-8e60-0d5909e106ea.png?v=1744334175","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag14128","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}