{"product_id":"ieej-mag15061","title":"PLD法を用い作製したSi基板上Fe-Co系磁性膜の諸特性に関する検討","description":"\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eカテゴリ: \u003c\/strong\u003e研究会(論文単位)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e論文No: \u003c\/strong\u003eMAG15061\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eグループ名: \u003c\/strong\u003e【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e発行日: \u003c\/strong\u003e2015\/07\/16\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eタイトル(英語): \u003c\/strong\u003eVarious properties of PLD-fabricated Fe-Co films deposited on Si substrates\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名: \u003c\/strong\u003e山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e著者名(英語): \u003c\/strong\u003eAkihiro Yamashita(Nagasaki Univ.),Takeshi Yanai(Nagasaki Univ.),Masaki Nakano(Nagasaki Univ.),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki Univ.)\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eキーワード: \u003c\/strong\u003eＰＬＤ　（Ｐｕｌｓｅｄ　Ｌａｓｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）　法|Ｆｅ－Ｃｏ|シリコン基板|ＤＦ（Ｄｅｆｏｃｕｓ）　ｒａｔｅ|PLD (Pulsed Laser Deposition) method|Fe-Co|Si substrates|DF rate\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(日本語): \u003c\/strong\u003e本報告では，PLD法において，Fe65Co35ターゲットに照射するレーザビームのスポット径を変化させ、Fe-Co膜を成膜した際の表面形態，組成，磁気特性ならびに機械的特性等を評価した。具体的には，スポット径を著しく低下させた際（Defocus rate=0），成膜速度は減少するものの，ドロップレットの数や大きさの低減，すなわち表面平滑性が向上することを明らかにした。更に，得られた試料の最大磁化が2.2 Tを超える事も確認した。\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e要約(英語): \u003c\/strong\u003eIn the report, an investigation on various properties of Fe-Co films by using a PLD (Pulsed Laser Deposition) method with several diameters of a laser beam was carried out. It was clarified that the usage of a Fe65Co35 target together with a small spot size of laser beam (Defocus rate = 0) enabled us to reduce the number and\/or size of droplets and obtain a Fe-Co film with the maximum magnetization above 2.2 T.\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e原稿種別: \u003c\/strong\u003e日本語\u003c\/p\u003e\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePDFファイルサイズ: \u003c\/strong\u003e1,361 Kバイト\u003c\/p\u003e","brand":"IEEJ-PDF","offers":[{"title":"PDFダウンロード（一般価格330円\/会員価格220円） \/ A4 \/ 5","offer_id":46387548586223,"sku":"IEEJ-MAG15061-PDF","price":330.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0718\/9512\/2159\/files\/IEEJ-PDF_2128ba94-28fd-4cab-8b86-b49839d76c44.png?v=1744422494","url":"https:\/\/ieej.bookpark.ne.jp\/products\/ieej-mag15061","provider":"電気学会 電子図書館","version":"1.0","type":"link"}